Bulkgase

Aufbau der vollständigen Gasversorgung, von der Anlieferung oder Erzeugung vor Ort, über die Verteilung bis zu den Tools (Verbraucher).

• Stickstoff- und Sauerstoffversorgung
• Versorgung mit Wasserstoff
• Versorgung mit Helium und Argon

Spezialgase

Planung und Konstruktion von Anlagen mit allen Spezialgasen, besonders für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie.

• Versorgung mit Silanen
• Dimensionierung für konstanten Druck
• Filteranlagen für höchste Reinheit

Druckluft

Konzeption von Anlagen zur Reinigung und zur Trocknung der Luft eingesetzte Druckluft in der Halbleiterindustrie); Verrohrung bis zum Verbraucher (Tool).

• Verrohrung in Edelstahl
• Berechnung der Dimensionierung
• Anlagen für Reinstdruckluft