Competence in high purity

Referenzen

Konvertierung der Chemikalien- und Slurryversorgung von 200mm auf 300mm Prozess im laufenden Betrieb

Leistungsumfang:

  • Detail / Ausführungsplanung
  • 6 neue Slurry Misch- und Versorgungssysteme
  • 7 neue Chemikalienversorgungssysteme (Lösemittel / Chemikalien)
  • 108 Verteilboxen (VMB) Umbau von 15 Versorgungs- und Verteilsystemen im laufenden Betrieb
  • Aufbau von 9 temporären Versorgungen incl. Tankdeckeltausch im laufenden Betrieb
  • Qualifizierung und Inbetriebnahme (Drucktest, Partikelmessung, Restfeuchtemessung, Probenentnahmen für die Analyse)
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