Referenzen
- Prozesssysteme für Test Facility (Bulk- u. Spezialgase incl. Purifier,
Chemikalien und Slurrysysteme, Reinstwasseranlage, Druckluftversorgung)
Vakuum, Chemie- und Gasverteilsystem für ein PV Projekt
- 11 Verteilsysteme mit 26 VMBs
- HF Versorgungssystem für Test Facility
- 10 Spezial Gase Systeme für die Halbleiterindustrie
- Misch- und Versorgungssysteme
- Großtankversorgung (2x 20 m²) für Poliermittel, incl. Anteststation und Qualitätsmonitoring
